凈化行業(yè)相關(guān)術(shù)語

1：潔凈室（clean room）

空氣懸浮粒子受控的房間，它的建造和應(yīng)用減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生和及停留的粒子。室內(nèi)其它有關(guān)參數(shù)及如溫度、濕度、壓力等按要求進行控制。

2:潔凈區(qū)（clean zone）

空氣懸浮粒子受控的限定區(qū)間，它的建造和應(yīng)用減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生和及停留的粒子。室內(nèi)其它有關(guān)參數(shù)及如溫度、濕度、壓力等按要求進行控制。潔凈區(qū)可以是開放式或封閉式。

3：移動式潔凈小室（mobile clean booth）

可整體移動的小型潔凈室，有剛性和柔性材料圍檔兩類。

4：人身凈化用室 （room for cleaning human body）

人員在進入潔凈室之前按一定程序進行凈化的房間。

5:物料凈化用室 （room for cleaning material）

物料在進入潔凈室之前按一定程序進行凈化的房間。

6:粒徑 （particle size）

給定的粒徑測定儀所顯示的，與被測粒子的響應(yīng)量相當(dāng)?shù)那蛐涡误w直徑。

7:懸浮粒子 (airborne particle)

用于空氣潔凈度分級的空氣懸浮粒子尺寸范圍在0.1um-5um的固體和液體粒子，但不適用于表征懸浮粒子的物理性，化學(xué)性，放射性和生命性。

8:超微粒子 （untrafine particle）

有當(dāng)量直徑小于0.1um的粒子。

9:微粒子（microparticle）

有當(dāng)量直徑大于5 um的粒子.

10 粒徑分布（particle size diseribution）

粒子粒徑頻率分布和累積分布，是粒徑的函數(shù)。

11：含塵濃度（particle size distribution）

單位體積空氣中懸浮粒子的顆數(shù)。

12：潔凈度（cleanliness）

以單位體積空氣中大于或等于某粒徑粒子的數(shù)量來區(qū)分潔凈程度。

13：氣流流型（air flow pattern）

對室內(nèi)空氣的流動形態(tài)和分布進行合理設(shè)計。

14：單向流（unidirectional airflow）

通過潔凈室（區(qū)）整個斷面的風(fēng)速穩(wěn)定，大致平行的受控氣流。

15：垂直單向流（vertical unidirectional airflow）

與水平垂直的單向流。

16：水平單向流（horizontal  unidirectional airflow）

與水平平行的單向流。

17：非單向流（non-vertical unidirectional airflow）

送入潔凈室（區(qū)）的送風(fēng)以誘導(dǎo)方式與室（區(qū)）內(nèi)空氣混合的氣流分布類型。

18：流合流（mixed airflow）

單向流和非單向流組合的氣流。

19：潔凈工作區(qū)（clean working area）

除了工藝特殊要求外，指潔凈室內(nèi)離地面高度0.8-1.5m的區(qū)域。

20：空氣吹淋室（air shower）

利用高速潔凈氣流吹落并清除進入潔凈室人員表面附著的粒子的小室。

21：氣閘室（air lock）

設(shè)置在潔凈室的出入口，阻隔室外或鄰室污染氣流和壓差控制而設(shè)置的緩沖間。

22：傳遞窗（pass box）

在潔凈室隔塥上設(shè)置的傳遞物流和工器具的窗口。兩側(cè)裝有不能同時開啟的窗扇。

23：潔凈工作臺(clean bench)

能夠保持操作空間所需的潔凈度的工作臺。

24：潔凈工作服（clean working garment）

為了把工作人員產(chǎn)生的粒子限制在最小程度的所使用的發(fā)塵量少的潔凈服裝。

25：空態(tài)（as-built）

設(shè)施已經(jīng)建城，其服務(wù)動力公用設(shè)施區(qū)接通并運行，膽無生產(chǎn)設(shè)備，材料及人員的狀態(tài)。

26：靜態(tài)（as-rest）

設(shè)施已經(jīng)建城，生產(chǎn)設(shè)備已經(jīng)安裝好，并按供需雙方商定的狀態(tài)運行，但無生產(chǎn)人員的狀態(tài)。

27：動態(tài) （operational）

設(shè)施以規(guī)定的方式運行，有規(guī)定的人員在場，并在商定的狀態(tài)下進行工作。

28：已裝過濾檢漏（installed filter systemleakage test）

為確認過濾器安裝良好，沒有向潔凈室（區(qū)）的旁路滲漏，過濾器及框架均無缺陷和滲漏所做的檢測。

29：純水（purity water ）

對電解雜質(zhì)含量和非電解雜質(zhì)含量均有要求的水。

30：防靜電環(huán)境（antistatic environment）

能防止靜電危害的特定環(huán)境，在這一環(huán)境中不易產(chǎn)生靜電，靜電產(chǎn)生后晚于消散或消除，靜電噪聲難以傳播。

31：表面電阻（surface resistance）

在材料的表面上兩電極間所加電流電壓與流過兩極間的穩(wěn)態(tài)電流之商。

32：體積電阻（volume resistance）

在材料的相對兩表面上放置的兩電極所加直流電壓與流過兩電極間的穩(wěn)態(tài)電流之商。該電流不包括沿材料表而后電流。

33:專用消防口（fire-fight access）

消防人員為滅火而進入建筑的專用入口，平時封閉，使用時由消防人員從室外打開。